產品詳情
日本Mitaka（三鷹光器）三維形貌測量儀NH系列，使用激光自動對焦技術在半導體工業和超精密加工領域得到廣泛應用。通過光學非接觸式的測量，可以全自動并高精度的測量工件的三維形貌。
日本mitakakohki（三鷹光器）將深耕多年天文和醫學領域精密光學技術，應用于工業領域。使用激光自動對焦的非接觸式三維測量設備在半導體工業和超精密加工領域得到廣泛應用。
產品特點
- 非接觸式不受樣品材質、表面結構的影響
- 可測量多反射率產品
- 可測量大傾斜角度樣品
- 數十um到數百mm寬視野范圍
規格參數
- XY分辨能力：0.1um、0.01um（型號 ：NH-3SPs）
- Z分辨能力：0.01um、0.001um（NH-3SPs）
- XY測定范圍：150mm（NH-3Ns/NH-3SPs）、200mm（NH-4Ns）、400mm（NH-5Ns）
- Z測定范圍：10mm
