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晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
納米張力硬度測量
三維形貌測量儀
工業(yè)檢測
各種晶圓（Si、SiC、GaN、InP、AlN、玻璃等）、玻璃基板、薄膜
晶圓自動缺陷檢測系統(tǒng) → 高倍率缺陷檢查 → 一機無縫實現(xiàn) 3D 形狀測量；基于共焦光學(xué)…
透過率材料應(yīng)力檢測
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內(nèi)周面形貌測量儀
可定制加工過程檢測
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工業(yè)檢測
飛秒激光直寫原位檢測OCT系統(tǒng)
頻域 OCT-將頻域 OCT 應(yīng)用在激光直寫技術(shù)中，證明了頻域 OCT 在技工過程中可以對 3D 樣品實現(xiàn)…
太赫茲無損檢測
