產品詳情
新品發布 OPTELICS AI2 :晶圓自動缺陷檢測系統 → 高倍率缺陷檢查 → 一機無縫實現 3D 形狀測量；基于共焦光學與微分干涉干涉技術原理，晶圓缺陷檢測儀可各種材質半導體晶圓的高速自動缺陷檢測，Si晶圓、SiC晶圓、GaN晶圓、InP晶圓、AlN晶圓、玻璃晶圓的缺陷檢測，玻璃基板、薄膜等；。
Lasertec已將OPTELICS AI 2商業化，這是一種新型共聚焦顯微鏡自動檢查/檢查系統，集成了高速自動缺陷檢查功能、缺陷映射功能和高倍率形狀檢查功能。
特征
- 從自動缺陷檢查到各種材料的半導體晶圓的高倍率檢查和形狀測量，一個單元即可處理所有事務。活躍于從研發到量產的各個階段
- 高速檢測：亞微米級靈敏度可在 15 分鐘內完成 3 英寸晶圓的全面檢測
- 高倍率回顧：通過切換物鏡可以進行高倍率 3D 形狀測量
- 通過深度學習實現高精度的圖像分類。可以進行圖案板檢查和特定缺陷類型的檢查
- 即使對于化合物半導體和薄膜等透明樣品，也可以在不受背反射影響的情況下進行檢查、高倍率檢查和形狀測量。
- 由于 Lasertec 提供從硬件到軟件的完整系統，因此可以根據客戶的要求定制和支持整個系統。
用法
- 各種材質半導體晶圓的高速自動缺陷檢測
- 缺陷審查
- 缺陷形狀測量
- 每個制造過程中的缺陷跟蹤
規格
| 檢查時間（3″晶圓） | 15分鐘 |
|---|---|
| 檢查對象 | 各種晶圓（Si、SiC、GaN、InP、AlN、玻璃等）、玻璃基板、薄膜等 |
| 高速自動缺陷檢測 | 共焦光學與微分干涉干涉 |
| 高倍復習 | 共焦光學系統 |
| 3D形狀測量 |
