產品系列：納米張力硬度測量
產品型號：納米壓痕儀ENT-5
產品品牌：Elionix
日本Elionix納米壓痕儀ENT-5，適應于0.5uN-2000mN廣泛的材料硬度測量。
對薄膜、微區表面進行壓痕檢測，實現微區硬度，彈性模量等參數的采集，通過軟件分析載荷和位移曲線來表征樣品的硬度指標
采用獨特的運動控制技術（廣泛用于電子束繪圖），實現高精度定位；應用數字變焦技術實現2000倍的任意位置測定
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