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產(chǎn)品詳情
FemtoLAB是飛秒激光微加工工作站，是科學(xué)實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)中心的完美選擇，根據(jù)需要為各種任務(wù)有側(cè)重的定制解決方案。也是目前國內(nèi)保有量最高的微納加工系統(tǒng)，支持國內(nèi)打樣服務(wù)。
FemtoLAB可以執(zhí)行各種增材和減材應(yīng)用，例如飛秒激光燒蝕（FSLA），直寫光波導(dǎo)，多光子聚合（MPP）、激光直寫（DLW）實(shí)現(xiàn)納米級分辨率。
配置
- 飛秒激光源
- 樣品定位系統(tǒng)
- 光束傳輸和掃描單元
- 激光功率和偏振控制
- 系統(tǒng)控制軟件（可根據(jù)要求提供自動(dòng)對焦和機(jī)器視覺）
- 樣品架和特殊機(jī)械裝置（可根據(jù)要求實(shí)現(xiàn)樣品處理自動(dòng)化）
- 光學(xué)工作臺
- 存儲(chǔ)模塊（全部或部分）
- 除塵裝置
- 激光系統(tǒng)通過幾經(jīng)迭代和更新的SCA微加工軟件實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化
關(guān)鍵應(yīng)用
- 表面和體積微米和納米結(jié)構(gòu)
- 飛秒激光燒蝕 (FSLA)
- 激光開槽
- 多光子聚合（MPP）| 直接激光寫入 (DLW)
- 激光切割和鉆孔
- 獨(dú)特的是，該系統(tǒng)不僅兼容平面樣品，還支持光纖加工
技術(shù)規(guī)格
| 參數(shù) | 值 |
|---|---|
| 推薦材料 | 所有材料：玻璃、藍(lán)寶石、硅、陶瓷、金屬、塑料、光纖等。 |
| 激光 | 高功率超短脈沖紅外、綠光、紫外激光器 |
| 光路選擇 | 自動(dòng)化 |
| 樣品尺寸 | 兼容最大 160 毫米 x 160 毫米的設(shè)計(jì) |
| 最小特征尺寸 | 200納米 |
| 定位系統(tǒng) | XYZ 機(jī)械軸，定位精度 ± 0.3 μm，具有連續(xù)晶圓級圖案化功能 |
| 掃描系統(tǒng) | 適用于所有激光波長的振鏡系統(tǒng) |
| 視覺成像 | 具有特征識別功能的實(shí)時(shí)可視化和定位攝像頭 |
| 計(jì)量學(xué) | 集成顯微鏡 |
| 樣品處理 | 手動(dòng)與自動(dòng)對齊 |
| 持有者 | 用于扁平結(jié)構(gòu)的樣品架（基于真空抽吸），帶有用于光纖的附加支架 |
| 除塵系統(tǒng) | 包括 |
| 配件 | 功率控制、偏振態(tài)控制 |
| 軟件 | 通過單一 GUI 控制整個(gè)系統(tǒng)。 |
| 支持的文件格式 | – 2D/3D模型導(dǎo)入：STL、DXF、DWG、AMF、PLT、FAB |
| – 位圖支持：BMP、GIF、JPG、JPEG、PNG | |
| – 作為表格數(shù)組的文本文件：TXT、RTF、TEX | |
| 軟件 | 具有被動(dòng)隔振功能的花崗巖底座，建立在光學(xué)平臺上（可選獨(dú)立設(shè)計(jì)） |
| 建造 | 水冷激光器、風(fēng)冷系統(tǒng)、電氣柜 |
| 尺寸，毫米 （長 x 寬 x 高） | 1500×1350×1400 |
| 重量 | 1100公斤 |
| 電源 | 2x 220 伏交流電，16 安 |
加工案例
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References
1.Ksenia Maximova, Xuewen Wang, Armandas Bal?ytis, Linpeng Fan, Jingliang Li, and Saulius Juodkazis at al. “Silk patterns made by direct femtosecond laser writing”, Biomicrofluidics 10 (5), 054101 (2016). doi: http://dx.doi.org/10.1063/1.4962294
2. Xuewen Wang, Aleksandr Kuchmizhak, Etienne Brasselet, Saulius Juodkazis, et al. “Dielectric geometric phase optical elements from femtosecond direct laser writing”, arXiv:1612.04487 (2016). doi:https://arxiv.org/abs/1612.04487
3. W. Wang, A. A. Kuchmizhak, X. Li, S. Juodkazis, O. B. Vitrik, Yu.N. Kulchin, V. V. Zhakhovsky, P. A. Danilov, A. A. Ionin, S. I. Kudryashov, A.A. Rudenko, N. A. Inogamov at al. “Laser-induced Translative Hydrodynamic Mass Snapshots: mapping at nanoscale”, arXiv:1703.06758 (2017). doi:http://arXiv:1703.06758