產品簡介
日本Lasertec是成立于1960年的光學檢測公司，與美國著名半導體設備廠商KLA技術相當，專業服務于工業和實驗室。
近年來Lasertec在業界首創推出了混合白光、激光共聚焦顯微鏡系統Optelics Hybrid，基于便利的雙光源、多光路光學系統，擁有卓越的成像質量及自動對焦等實用功能；直接對標奧林巴斯、蔡司的科研系列，正以極高的性價比被市場廣泛接受。
產品功能：高度集成和優秀的光學系統
產品優勢：卓越的分辨率和成像質量
不僅而且的實用性
高配置靈活度
好用的軟件和AI算法
經過時間驗證的完善功能
成熟可靠的工業OEM
基本規格
| 觀察功能 | 白色光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉觀察、彩色圖像觀察 |
| 測定機能 | 高度、幅寬、表面粗糙度、形狀特征、白光垂直干涉、相差干涉、反射分光膜厚 |
| 波長選択 | 激光：405nm 白光：436nm, 486nm, 514nm, 546nm,578nm, 633nm |
| 測定精度（水平方向） | 準確度：±（0.11+L/100）μm |
| 再現性（σ）:10nm | |
| 測定精度（高度方向） | 準確度：±｛0.02ｘ（100/物鏡倍率）+L/1000｝μm |
| 再現性（3σ）：10nm | |
| 幀率 | 15Hz～120Hz |