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配置及技術(shù)參數(shù)
| 配置 | 項(xiàng)目類(lèi)型 | 描述 |
| 1 | PLW100A | 可測(cè)試Wafer尺寸：2英寸~4英寸 Chuck XY向行程：100mm*100mm Chuck移動(dòng)分辨率：旋鈕調(diào)節(jié) Chuck旋轉(zhuǎn)范圍： ±5°微調(diào)，360°粗調(diào) 臺(tái)面接觸分離: 10mm,10微米分辨率 Chuck漏電:<1pA 上下片方式：手動(dòng)旋鈕式 顯微鏡機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié):Z向±35mm 進(jìn)口靜音真空泵 |
| 2 | Scope | 雙目體式顯微鏡，LED環(huán)形燈照明，總倍率為:最大90X，物鏡0.7X-4.5X連續(xù)，目鏡20X |
| 3 | PT-301 | 直流針座，磁吸附，帶磁性開(kāi)關(guān)。 X-Y-Z 移動(dòng): 12mmx12mmx12mm 線性移動(dòng)解析: 1.0 um探針夾持器，銅針管直徑4.0mm 金屬銅管長(zhǎng)：150mm 接1.5米同軸線 BNC電纜 |
| 4 | P0518 | 直探針尖（針桿直徑0.5mm，長(zhǎng)18mm，針尖10-50μm，鎢針） |
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